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納米級(jí)氣浮定位運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
納米級(jí)氣浮定位運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
技術(shù)特點(diǎn)●導(dǎo)軌面間是氣體潤(rùn)滑，因此摩擦系數(shù)極小?！?..